石英陶瓷坩埚使用应注意事项

石英陶瓷坩埚使用应注意事项



　　半导体级高纯石英陶瓷坩埚是拉制大直径单晶硅的消耗性器皿，每生产一炉单晶硅就用掉一只坩埚。单晶硅是生产大规模集成电路的原材料，对坩埚的要求十分苛刻。一般国际上对石英陶瓷坩埚的要求：材质必须是高纯度半导体级；耐高温性强；坩埚的尺寸大；精度高；保温性能好；节约能源；产品质量一致性好；稳定性高等特点。



石英陶瓷坩埚在使用时应注意：



　　1、石英陶瓷坩埚可在1700度以下灼烧，但灼烧温度高于1100度石英会变成不透明，因此熔融温度不应超过800度。



　　2、不能和HF接触，高温时，极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。